納米壓痕又稱微壓入法，主要用于測量硬質膜和耐磨薄鍍層的硬度。納米壓痕技術是近些年發展起來的一種硬度測試新方法。納米壓痕技術除開硬度值外，還可以得到如彈性模量、屈服強度、塑性形變阻力等力學性能數據。
納米壓痕技術主要用于測量硬質膜層和極薄的表面強化層等復合材料在不用分離薄膜與基體材料的情況下直接測得薄膜材料的硬度、彈性模量等數據。納米壓痕技術的應用在微電子科學、表面噴涂、磁記錄以及薄膜材料加工等相關的材料科學領域中得到越來越廣泛的應用。
硬度H主要由塑性形變決定，可以代表塑性形變抗力，這與傳統硬度測量相同。大壓入量hmax應小于膜層厚度的1/10，以便盡量減小基體影響。應注意區分微壓入法與傳統硬度的區別．對于以塑性變形起主要作用的過程，兩種定義給出類似的結果。但是以彈性變形為主的接觸過程，兩種定義將給出*不同的硬度。因為以純彈性接觸為主的過程，其卸載后，剩余接觸面積非常小，按傳統定義將導致硬度無窮大。
為了從載荷一位移數據計算出硬度和彈性模量，必須準確地知道彈性接觸韌度和接觸面積，納米壓痕與傳統硬度測試的根本區別就是納米壓痕非常小，壓入深度非常淺，只能通過經驗公式推算出接觸面積，而傳統方法是在卸除載荷后測量壓痕參數獲得。
目前，被廣泛用來確定接觸面積的方法被稱為Oliver-Pharr方法，該方法是通過將卸載曲線頂部的載荷與位移關系，擬合為一指數關系公式，并通過高精密儀器來完成所有的測試并通過計算機得知測試結果。